Tổ Hải Viên người xã yến vỹ sinh năm giáp thân (1764) năm ất mùi (1775) xuất gia tòng đạo.
Lúc bấy giờ triều đình Vua Lê quá suy yếu, quyền thần Nguyễn Hữu Chỉnh (tức Cống Chỉnh) lộng quyền, vua Lê Chiêu Thống nghe lời Chỉnh ra lệnh: “thu vét tượng đồng, chuông đồng ở các chùa miếu đem về kinh đúc tiền ..”
Nguyễn Hữu Chỉnh thả thủ hạ đi khắp nơi cướp lấy chông, tượng đồng ở các hương ấp. Các cụ làng Yến Vĩ còn lưu truyền câu chuyện cống chỉnh hủy tượng Chùa Hương như sau: "Khi đó Tổ Hải Viên còn trẻ, khỏe mạnh, lanh lợi, thông minh. Hay tin lính phủ huyện về Chùa Hương, Tổ về báo với cụ Hải Dao. Cụ Hải Dao nghe tin trầm ngâm suy nghĩ, cụ thắp hương cầu phật Tổ mong bản tự qua cơn binh loạn".
Vài tháng sau cụ nghe tin đồn nhà vua có lệnh thu chuông phá tượng lấy đồng đúc tiền. Thực hư chưa tường, nay thì sự việc đã đến gấp, cụ sai người mời già lão, sắc mục hương trưởng cùng nhà chùa mật bàn việc giấu chuông giấu tượng.
Già lão, chức sắc, hương trưởng mật bảo trai đinh khỏe mạnh vào ngay chùa cho kịp thời gian đem tượng, đem chuông đi giấu. Một mặt chuẩn bị thời gian đón tiếp quan quân.
Số đông trai đinh cùng Tổ hải viên vào động Hương Tích, lên núi, suống thung tìm hang dể giấu. Quả chuông to (hiện nay còn treo ở động) và chiếc trống đồng bị kẻ gian lấy năm (1945) được đem đi giâu trước. Các pho tượng nhỏ cũng được đem đi giấu ở các hang xa động.
Người ở ngoài chùa Thiên Trù vừa thu dọn, cất giấu vừa đón tin quan quân vào. Khi trong động chỉ còn pho tượng Quán Thế Âm nghìn mắt nghìn tay đúc vào năm đinh hợi (1767) to nặng chưa giấu kịp thì quan quân đã vào tới động. Chúng lùng sục tìm người, tìm tượng, hò hét đập phá pho tượng Quan Thế Âm rồi vôi vàng khiêng vác ra.
Đường núi hẹp lại khó đi, khiêng vác năng nề nên chúng bỏ lại từng mảnh đồng tượng ở hai bên đường chùa. Tổ Hải Viên cùng trai làng ẩn nấp trên núi, theo chúng từng bước, thu nhặt những mảnh đồng mà chúng vứt lại hai bên vệ đường. Cho đến ngày hôm sau, chúng chỉ đem đi được một ít mảnh đồng của pho tượng quan âm và quả chuông chùa Thiên Trù. Ngày ấy vào mùa xuân năm đinh mùi (1787) năm thứ nhất niên hiệu Vua Lê chiêu Thống.
Qua cơn binh loạn, Tổ Hải Viên cùng dân làng thu gom số đồng còn lại cất đi để sau đúc chuông, đúc tượng.
Năm kỷ dậu (1789) Tổ Hải Viên chính thức làm chủ tùng lâm hương tích. Tổ cùng dân làng chuyển chuông, tượng giấu trên hang núi về chùa, về động yên vị tam bảo thờ phật. Ba năm sau, năm quý sửu (1793) gia đình ông Nguyễn Huy Nhật tước Nhật Quang Hầu – một võ tướng của triều nhà Nguyễn Tây Sơn cùng vợ là nguyễn Thị Huề hiệu Thiện Cơ quê ở Võ Giàng xã Đại Võ công đức tạc pho tượng Quan Âm bằng đá xanh thờ ở giữa tam bảo động Hương Tích.
Ngoài chùa Thiên Trù, Tổ xây dựng năm gian hậu đường bằng gỗ lợp ngói, đúc quả chuông hiện treo ở chùa, có niên đại hoàng triều cảnh thịnh năm thứ hai nhà Nguyễn Tây Sơn. Năm mậu ngọ, Tổ xây dựng lại tào khê viện. năm canh thân (1800), Tổ xây mở rộng đền Vân Song – tên thường gọi là đền Cửa Võng, đền Chấn Song. Năm mậu tuất (1802),Tổ xây dựng năm gian tiền đường chùa Thiên Trù bằng gỗ tốt lợp ngói.
Đến năm Canh Ngọ (1810) ngày mùng mười tháng mười, Tổ Hải Viên tịch, thọ thế 46 năm.
- Thiền Tổ, khai sáng viện, tháp thanh vân, tên húy là Thám. pháp danh Thông Dụng, hiệu là An Trụ, thích cường trực bồ tát thiền tọa hạ, giỗ ngày mồng 5 tháng 8. (Tổ là người khai sáng Chùa Giải Oan).
- Thiền sư, Háp Tiên Kỷ, Ma-Ha-Sa-Môn, húy là Thiện, pháp danh Phổ Chiêm Thích Tuấn Nhã trang nghiêm bồ tát thiền tọa hạ, giỗ ngày 25 tháng 3.
- Thiền sư Tam Giáo Viện ma-ha-sa-môn ngộ tâm, xuất gia, tên tự là Chiến Trực Bồ Tát thiền tọa hạ, giỗ ngày 10 tháng 5.
- Thiền Tổ, Tháp Đồng Bạch,Ma-Ha-Sa-Môn , tên húy là Đoan, pháp danh là Thông lâm bồ tát thiền tọa hạ, giỗ ngày 16 tháng 10.
- Thiền Tổ Tháp Hương Quang Ma-Ha-Sa-Môn tỳ kheo giới, pháp danh Tâm Trúc hiệu Minh Thích Hoàng – hoàng Thiền Sư Bồ Tát Thiền tọa hạ, giỗ ngày 25 tháng 3.
- Thiền Tổ Tháp Tiên Quỳnh, Ma-Ha-Sa-Môn, Pháp danh Thanh Hữu, Thích Minh thiền sư bồ tát, Thiền tọa hạ, giỗ ngày 29 tháng 2.
- Thiền Tổ Tháp Tiên Kỳ Ma-Ha-Sa-Môn, Pháp danh Thanh Quyết Thích Minh Nhẫn Nhục thiền sư bồ tát, thiền tọa hạ, giỗ ngày 19 tháng 7.
- Thiền Tổ Tháp Tiêu Quỳnh, Ma-Ha-Sa-Môn pháp danh Trí Thích.